2007年12月20日，安徽省科技厅组织对合肥国家同步辐射实验室研制的“KZ－400离子束刻蚀装置”进行鉴定。鉴定委员会主任由上海光机所林尊琪院士担任。鉴定委员会听取了项目组的研制工作报告、测试报告、用户报告和查新报告，审查了相关文件资料，现场查看了KZ－400离子束刻蚀装置，并进行了技术质询。鉴定组认为：该装置设计新颖，技术路线正确，有显著的创新性，其总体性能达到国际先进水平。KZ－400离子束刻蚀装置研制项目受“863”计划资助，是国内第一台大型离子束刻蚀装置，填补了我国大型离子束刻蚀装备的空白，产生了显著的社会效益。